MEMS是微機電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文縮寫。MEMS是美國的叫法，在日本被稱為微機械，在歐洲被稱為微系統(tǒng)，它是指可批量制作的，集微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是隨著半導(dǎo)體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的，目前MEMS加工技術(shù)還被廣泛應(yīng)用于微流控芯片與合成生物學等領(lǐng)域，從而進行生物化學等實驗室技術(shù)流程的芯片集成化。

研究機構(gòu)　　
東南大學MEMS重點實驗室研究重點在不太耗資金，但是前景不錯的MEMS CAD?

北京大學微電子研究院MEMS研究所國內(nèi)最早提供MEMS代工，有RF MEMS、MEMS陀螺、微流控芯片、生物MEMS、NEMS等多個研究方向?

西北工業(yè)大學微納米系統(tǒng)實驗室面向國防建設(shè)，致力于航空航天機載設(shè)備、武器的微型化，集成化、信息化；結(jié)合西部大開發(fā)，促進高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化。產(chǎn)、學、研相結(jié)合，開展微/納米系統(tǒng)及其相關(guān)技術(shù)的研究。

清華大學室微電子學研究所微納器件與系統(tǒng)研究室主要研究各種新型微納器件以及由它們構(gòu)成的系統(tǒng)，研究范圍是：新器件與系統(tǒng)、新技術(shù)與工藝、新電路與模型、新材料與結(jié)構(gòu)、新概念與原理。目前有兩個主要研究方向：新型微電子器件與系統(tǒng)，納電子學。

哈工大在MEMS傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計以及傳感器接口電路方面有較長時間的積累。

中科院上海微系統(tǒng)研究所基本實現(xiàn)了微型慣性器件MEMS工藝小批量制造能力，實現(xiàn)了4英寸硅片上的高g傳感器批量制造，開展了兩維和三維高g傳感器的研發(fā)和具有電自測功能的傳感器中電集團十三所國家863計劃MEMS專項基地，加速度傳感器、陀螺儀、碰撞傳感器、傾角傳感器、振動傳感器、流量傳感器、光開關(guān)、光衰減器、光反射鏡、RF開關(guān)、微波移相器、微波帶通濾波器?

中電集團二十四所也是模擬IC生產(chǎn)經(jīng)驗+MEMS工藝開發(fā)經(jīng)驗，擅長MEMS與電路的集成 　　中電集團四十九所已經(jīng)掌握了如產(chǎn)品的批生產(chǎn)質(zhì)量控制技術(shù)和批生產(chǎn)成本控制等MEMS產(chǎn)業(yè)化技術(shù)，擁有自主知識產(chǎn)權(quán) 。

中電集團五十五所擅長RF MEMS和聲表面波器件 。


上海交通大學微納科學技術(shù)研究院非硅MEMS加工 。

中北大學微米納米研究中心MEMS器件及系統(tǒng)，包括微慣性器件的設(shè)計與仿真、微氣體檢測傳感器設(shè)計、加工及制造 。

大連理工大學微系統(tǒng)研究中心微機密齒輪制造、微操作與微裝配平臺研究以及mems工藝開發(fā)等。